質量流量控制技術。無與倫比的工藝精度。

要真正控制任何過程，您必須精確測量正在發(fā)生的事情——在進料線、腔室中，在每個點——然后實時使用該信息來保持過程精確地達到目標并保持生產效率。

作為精密流體測量和控制領域的全球領導者，質量流量計制造商 Brooks Instrument 不斷創(chuàng)新熱式質量流量技術。從熱流量傳感器和質量流量計系統(tǒng)，我們不斷推出新產品并增強現(xiàn)有系統(tǒng)，以將熱質量流量測量精度、響應性、準確性和可重復性提升到新的水平。

我們的質量流量傳感器在全球范圍內使用最廣泛的主要原因包括：

業(yè)界最佳的數(shù)字質量流量計和其他產品系列，可滿足最廣泛的應用需求

MultiFlo? 技術允許一臺設備更改氣體類型和范圍，而無需將設備從系統(tǒng)中移除并提高實際過程氣體的準確性。MultiFlo? 可與熱質量或流量傳感器一起使用

完整的產品范圍包括用于熱式質量流量傳感器和科里奧利質量流量傳感器的彈性體密封和金屬密封選項

為滿足薄膜、半導體和其他高科技行業(yè)要求而設計的超高純度質量流量傳感器和設備

主要應用

質量流量傳感器的熱處理、切割和其他熱處理工藝

半導體和 LED 生產工具

薄膜沉積系統(tǒng)

生物制藥生物反應器

石化和化學氣體和液體中試裝置

吹掃氣體、過程分析和分析流量測量