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美國BROOKS流量計-質(zhì)量流量控制器和儀表匯總

質(zhì)量流量控制技術(shù)。無與倫比的工藝精度。

要真正控制任何過程，您必須精確測量正在發(fā)生的事情——在進料線、腔室中，在每個點——然后實時使用該信息來保持過程精確地達到目標(biāo)并保持生產(chǎn)效率。

作為精密流體測量和控制領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者，質(zhì)量流量計制造商 Brooks Instrument 不斷創(chuàng)新熱式質(zhì)量流量技術(shù)。從熱流量傳感器和質(zhì)量流量計系統(tǒng)，我們不斷推出新產(chǎn)品并增強現(xiàn)有系統(tǒng)，以將熱質(zhì)量流量測量精度、響應(yīng)性、準(zhǔn)確性和可重復(fù)性提升到新的水平。

我們的質(zhì)量流量傳感器在全球范圍內(nèi)使用最廣泛的主要原因包括：

業(yè)界最佳的數(shù)字質(zhì)量流量計和其他產(chǎn)品系列，可滿足最廣泛的應(yīng)用需求

MultiFlo? 技術(shù)允許一臺設(shè)備更改氣體類型和范圍，而無需將設(shè)備從系統(tǒng)中移除并提高實際過程氣體的準(zhǔn)確性。MultiFlo? 可與熱質(zhì)量或流量傳感器一起使用

完整的產(chǎn)品范圍包括用于熱式質(zhì)量流量傳感器和科里奧利質(zhì)量流量傳感器的彈性體密封和金屬密封選項

為滿足薄膜、半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)要求而設(shè)計的超高純度質(zhì)量流量傳感器和設(shè)備

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主要應(yīng)用

質(zhì)量流量傳感器的熱處理、切割和其他熱處理工藝

半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具

薄膜沉積系統(tǒng)

生物制藥生物反應(yīng)器

石化和化學(xué)氣體和液體中試裝置

吹掃氣體、過程分析和分析流量測量

美國BROOKS流量計-彈性體密封熱

美國BROOKS流量計-金屬密封

美國BROOKS流量計-高溫?zé)?/span>

美國BROOKS流量計-科里奧利

最寬的流量和壓力范圍

長期穩(wěn)定性帶來持續(xù)價值

包括批準(zhǔn)用于危險區(qū)域的產(chǎn)品

軟管沖洗/沖洗設(shè)備外殼

適用于對水分或氧氣敏感的工藝

高純度流路最大限度地減少過程污染，提高產(chǎn)量

超快響應(yīng)時間

最高工作溫度

高精度和可重復(fù)性

超高純度結(jié)構(gòu)

極低流量過程的最高精度

固有流體密度計

適用于液體和氣體應(yīng)用的設(shè)備

流體類型

氣體

流體類型

氣體

流體類型

氣體、蒸汽

流體類型

氣體、液體

流量范圍（滿量程）

3 sccm – 2500 lpm

流量范圍（滿量程）

.06 sccm – 300 slpm

流量范圍（滿量程）

3 sccm – 10 slm

流量范圍（滿量程）

10 – 27,000 克/小時

準(zhǔn)確性

± 0.6% SP

準(zhǔn)確性

SP ±1%

準(zhǔn)確性

SP ±1%

準(zhǔn)確性

費率的0.2% – 0.5%

最大壓力

4500 磅/平方英寸

最大壓力

150 磅/平方英寸

溫度

150攝氏度_

溫度

65攝氏度_

輸出類型

模擬和數(shù)字

輸出類型

模擬和數(shù)字

輸出類型

模擬和數(shù)字

輸出類型

模擬和數(shù)字
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